XL*, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt
Hochvakuum-Winkelventile der Serie XL besitzen eine exzellente Wärmeleitfähigkeit und gewährleisten so gleichmäßige Temperatur am gesamten Ventilkörper und merkliche Reduzierung der Kondensation von Gasen im Ventil. Das Ventil enthält keine Schwermetalle wie Ni (Nickel) oder Cr (Chrom) und geringe Verdampfung reduziert die Verunreinigung von Halbleiterplättchen mit Schwermetallen.
Leicht und kompakt
Gleichförmige Formtemperatur
Hohe Fluorbeständigkeit
Geringe Ausgasung
Geringe Schwermetallkontaminierung